沈阳某半导体技术鑫霖环保芯片创造厂，晶圆加工制作的过程 中产生了含硅、氟的比较特殊生活污水，来设计处置数量1200吨/日。生活污水营养成分更复杂，具有纳米技术级硅顆粒及氢佛酸，传统艺术处置策略不可考核标准。 污废水 材料及的来源 大部分影响物 ：氢氧化铁硅（100-500nm比表面积）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 因素工艺 ：晶圆刻蚀废渣（45%）、CMP药剂学自动化机械增加光泽废渣（40%）、设备情况呢水（15%） 治疗鑫霖环保工艺程序 改革创新适用"电化学悠长岁月中+特种车辆膜隔离"水平途径： 钙盐滤渣 ：添加氯化钙消除氟亚铁离子（添加CaF2沉淀物中） 斜管沉淀池反應 ：pp水解酸化池剂推动氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm内径膜截流微细颗粒物 反侵入整体 ：脱盐率>98%，再利用率75% 减压蒸馏晶粒 ：浓水段确保氟化物无废气排放物 从而结果 氟化物氨水浓度：<8mg/L（不超的国家级通过成绩基准10mg/L） 硅含铁：<5mg/L 水资源保护共享使用率：70%在冷却水塔补水保湿 危险废物减轻：挥发残留物量较傳統技艺少60%