该厂为8英尺晶圆制作线配置的超净水系统化，经常导致含硅废水治疗150吨。废水治疗中虽无巨资属，但硅含碳量高易水垢，且电阻值率需起到18MΩ·cm方能使用。现有治疗艺是无法满意新实行的《电子元器件工业化水被污染的物污染物的标准》（GB39731-2020）尤其是污染物规定值。 废水处理方法成分表优势特点 一般环保问题物 ：固体硅（200-300mg/L）、顆粒硅（粒级0.1-1μm） 异常需求 ：TOC<10μg/L，硼含氧量<5μg/L 水环境特质 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅单质价值形式繁琐 整理生产技术流程图 去创新主要采用"梯级膜分开+电去亚铁离子"组成技术： 微滤预外理 ：1μm淘瓷膜阻拦大颗粒状硅，通量达到80LMH 正离子调换不饱和树脂 ：D201大孔硅橡胶选购性离心分离硅酸大分子 二级考试RO系统 ：1、段回收利用率60%，2段适用高脱硼膜开关元件 EDI电去铁离子 ：直流电压密度计算公式2A/m²，连续清理残留铝离子 UV紫外线灭菌 ：254nmUV紫外线灯线用量40mJ/cm² 技术工艺特点 设计规划特用阻硅剂（有机肥料胺类挽回物），减慢膜破坏周期时间3倍 EDI传感器改革创新流道定制，硅的还原率提高至99.8% 在线播放硅具体检测仪（测定超范围0.1-500μg/L）实现目标靶向调控 运营取得的成绩 经三是方检查： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼含水量从8μg/L下降0.3μg/L 软件系统收废率从原40%大幅提升至68% 膜换新频次缩短至5年，年加载代价降35%