过程简介
某85英寸晶圆厂刻蚀生产工艺导致含氟污水(注意组成成分为HF、NH4F),设置操作总量200m³/d,的标准实行水中水回用率≥90%,氟化物回收并再生转化率>80%。
水硬度特质
氟化物盐浓度梯度方向大(50-5000mg/L)
含硅颗粒状及合金化合物(Al³⁺、Cu²⁺)
氟化物含氧量高(300-800mg/L)
生产工艺的流程特点
分等级采集系统
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高浓硫酸浓度生活污水(>1000mg/L)专门流入凝结回收利用系統
低氧浓度污废水 进入到日常整理线
关键办理单无
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旋流反映器加快发展氟化钙
多效蒸发掉器萃取氟化铵硫酸铜溶液
冰冻心得准备高纯氟化铵企业产品
回收平台
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反渗透装置法膜+反渗透装置法双膜法产水工业废水处理
浓水使用生产区抑尘
经济增长技术应用指标图
氟化物一体化回收处理率82%
吨水进行处理生产成本减少至18.7元
年再利用氟化铵货品350吨
超纯水回收率92.3%
氟石油化工工业废水整理重要性技巧总结会
电化学水解法
简化基本知识:
钙盐加药量需控住Ca²⁺:F⁻=1.05-1.1(摩尔比)
作用pH值精度抑制在10.5-11.5区域
长度净化处理技艺
比选:
催化活性腐蚀铝:可中用<20mg/L的深入治理
反渗:适于低浓硫酸浓度含氟生活污水
电凝聚力:治理 高一定的难度有机肥料氟生产废水
能源化导向
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氟化钙奠定要加工被人造萤石
氟化铵饱和溶液制备后使用于产生
回收利用氟货品成本价格电动车续航3000-500零元/吨
注:实际情况建筑项目中需给出水质监测功能展开小试确立最宜加工参数表,最好是必需充分考虑分质加工处理与重复利于设计方案。