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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

工程背景图片 该半导体技术研发重工业区建在西北国家,总的投资以上200亿港元,核心生孩子124英寸晶圆和专业打包封装品牌。重工业区日减排废发电量约5000吨,涵盖各种各样工序重工业重工业废水,净化治理等级大。建设项目规范要求重工业重工业废水净化治理后到《智能重工业水污染破坏物减排标准规范》(GB 39731-2020)非常减排标准值,方面中水回用率不如果低于60%。 化工废水化学物质及特征 含氟污水:其主要产自晶圆蚀刻、刷洗工艺流程,氟化合物浓硫酸浓度万代高达200-500mg/L,pH值变化大 充分物废渣:光刻、成像、去胶等加工过程造成,COD氧化还原电位300-800mg/L,所含异丙醇、异丙醇等充分物相转移催化剂 含铜焦化废水:电镀层、电化学机诫抛光剂(CMP)工艺技术诞生,铜铝离子含量50-150mg/L 酸碱平衡废水处理方法:机 除污、有机废气治理清洗等方式生成,pH值在2-12左右起伏较大 机磨废污水:CMP工作带来,包含的nm级二被氧化硅颗料 正确处理技艺鑫霖环保流程 采用了"等级分类汇集+分质正确处理+程度净化后"的组合公式工艺设备: 含氟焦化废水处置线 : 两极电化学积累:先污泥脱水氯化钙调高pH至6-7,多加入PAC和PAM二沉池积累 活力性氧化的铝降解:抓好氟阴阳离子质量浓度减至5mg/L一些 工业废水经板框压滤后都交给正规外理 有机会电镀废水办理线 : 微电解抛光法预除理:铁碳微电解抛光法挥发脂溶性式化合物物 UASB活性污泥症状器:HRT=24h,COD我们要除率>60% MBR膜怪物作用器:选取PVDF弧形纤维素膜,通量15LMH 含铜废污水加工线 : 生物学乳浊液:加药系统NaOH缓解pH至9-10,出现Cu(OH)2乳浊液 正阴离子交互:两极不饱和树脂交互提高认识铜正阴离子<0.3mg/L 钛电极抛光回收利用处理:部件化工废水经钛电极抛光回收利用处理废金属铜 一体化解决控制系统 : 调整池:均衡性水质标准供水量,设暴气鑫霖环保 沥青混凝土沉淀自己:加药系统包覆二沉池剂消除胶体溶液物 臭氧老化催化反应腐蚀:分解难分解设计物 反固化整体:脱盐率>98%,产水工业废水处理于研发线 工业废水办理系统的 : 污泥处理浓缩液池:固态物质量浓度从1%增强至3% 离心法脱水等:进入PAM修护,泥饼含水分率<75% 高低温干化:一部分淤泥干化至含水分率30%以内 然后效果好 创业项目建造进行后,各类细则增强细则:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜亚铁离子<0.3mg/L、pH 6-9。回收利用水量水源实现GB/T 19923-2005工业园用水量细则,回收利用率65%,每次节约资源刚采水运用量约115万吨。污泥处理引起量才能减少40%,隐患危化物处里成本费用消减35%。系统软件一键化地步高,百度在线监测统计资料统计资料与环保节能科室雷达回波图联机。

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