半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
创业项目游戏背景
该各个厂家为欧洲进取的半导体技术首测各个厂家,座落珠三边形的地区,具体实现高品质处理器的片区和封装类型公测。随着是时间干净的要求按照严格,各个厂家绝对施实生活污水零废气工程的项目。的项目于2020年打火,2024年6月建于投建,处理产值为200吨/日,总投资人约2000多万元。
生活污水成份及原因
此项意图片区化工废水包括左右特色:
高溶度氟化物,核心原于晶圆切后的清洁加工过程,氟正离子溶度超过150-200mg/L
有效nm级硅粉颗料,粒级多在100-500nm相互间
无机容载较高,COD在500-800mg/L
含带微量分析巨资属如铅、镉等
电阻率高,常见在2000-3000μS/cm
补救生产工艺方案
为实现了零摆放要求,的工艺设定侧重点充分考虑废气定义采集而来和资源性收购 :
化工废水定义回收利用平台
:将含氟焦化工业废水与其它焦化工业废水拆开整理
化学物质悠长岁月中除氟
:用两极钙盐结晶法,相互配合高结晶池
高等 脱色操作
:活性氧催化反应脱色降解塑料难清理有机会物
膜精炼软件
:按照DTRO碟管式反渗,精炼陪数为10倍
汽化析出
:MVR机械装备蒸汽发生器再压缩成化掉器治理浓水
粗糙系統
:将成果盐干燥处理后当做工业企业副產品外售
补救功能
系统操作资料体现 :
氟化物删去率>99.9%,水流氟化合物<1mg/L
COD总避开率>98%,冒水COD<20mg/L
水资原收售率>95%,仅存在少量出晶体盐
每次可收旧高的质量工业废水处理水约10万吨
晶粒盐饱和度达到工业品级基准,满足资源的化巧用
項目不单保证 了电镀废水污水处理技术出,还实现自然资源利用创造者了约80万美元/年的附加盈利。