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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

楼盘时代背景 该半导体器件技术品牌靠近长三边形中北部,基本研发8寸大和12寸大晶圆,日减排废供水量约2000吨。鉴于半导体器件技术研发工艺设计僵化,废污水组成丰富多彩且有多重难分解类物质,品牌原来的进行处里措施时未能够满足越来越严厉的环境减排规范标准,故进行投资三千万元新修建职业 废污水进行处里站。 废水处理方法材质及主要来源 该公司污水重点主要包括几类: 含氟废水处理工艺:收入于晶圆蚀刻、家电清洗程序,氟正离子密度达到2000mg/L; 有机的会废水处理:产自光刻、成像等方法,含有异丙醇、二甲苯等有机的会容剂,COD值在5000mg/L两边; 碱酸电镀废水:有于难以清理和表面上工作关键点,pH值下降大; 含铜废污水:产自塑料电镀和轻金属化工新材料艺,铜化合物浓硫酸浓度约150mg/L。 净化处理生产技术操作流程 应对有所不同质地的化工废水,选取"类型回收利用+分质整理+端部角度整理"的组合构成工艺设备: 含氟废水整理方法整理线: 多级检查是否结晶:先污泥脱水氯化钙设定pH至6-7,后加入PAC和PAM二沉池结晶; 活性酶类阳极三氧化二铝活性炭吸附:提高认识氟铝离子氧化还原电位降下来8mg/L以內。 有机的生活污水正确处理线: 微电解法发应:铁碳弹性填料床预除理提升废液可血生化性; UASB活性污泥法影响器:HRT=24h,COD剔除率65%; MBR膜生物学体现器:选取PVDF中空中钎维膜,出水量COD<50mg/L。 强酸强碱废污水与体系: 自動pH调整:完成在线播放检测仪的控制加酸加碱量; 水解酸化池沉淀自己:去掉采和生产的悬停物。 含铜生活污水处置: 电学结晶:添加NaOH调控pH至9-10,演变成氢氧化反应铜结晶; 化合物交流:确保安全生产铜化合物氧化还原电位<0.3mg/L。 深度1正确控制部件测试: 臭氧老化离子液体脱色:进一个步骤生物降解难分解的无机物; 活性氧炭过滤装置:避开碱度和少量弄脏物; 紫外光线清洁消毒:抓实出液菌群学质量指标合格。 最后效率 工程运作后,冒水环境质量稳定的高于《电子厂制造业水被污染的物的排污规范化》(GB 39731-2020)尤其是的排污卫生防护距离规范,各举氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。年可减掉氟化物的排污约120吨,COD的排污约400吨,收售水网络资源约10万吨。设计系统电气自动化层次高,运作投入掌握在8.5元/吨水时间。

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