半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
业务背景图片
该单位设在宁波省昆山市,主要是长期从事高档半导存储芯片的二极管封装自测,日摆放废储水量约200吨。主要是因为制作具体步骤中用到很多生物中和剂,污水材料错综复杂,有效高含量铜、镍等天价属以其固化剂树脂材料、光刻胶等有机肥料感染物。单位原本的整理建筑设施始终无法 需求一览表摆放的标准,肯定需要上升改良。
工业废水成份及特征
化学镍废水处理工艺
:来源地于集成块引脚电镀工艺生产工艺,带有铜、镍、锡等血本属铁离子,pH值下降大。
有机化学废渣
:主要的位于封装类型胶应用、光刻鑫霖环保,包含有环氧漆树脂材料、异丙醇、二甲苯等有机肥料稀释剂。
酸碱性废渣
:所产生于晶圆洗涤和蚀刻流程,含有盐酸、盐酸、氢硫化钠等。
整理施工工艺工作流程
预补救的时候
酸碱度采和
:利用投药平台设定pH至6-9,以免 后期的治疗仪器锈蚀。
混凝土沉淀物
:污泥脱水PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),取除悬屏物和的部分血本属。
核心思想整理环节
高阶硫化
:选用Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)细化难生物降解设计物,COD出掉率达70%大于。
膜过滤水
:反融于装置(UF)+反融于(RO)组合成新工艺,进一个步骤截流巨资属和水解性充分物。
广度解决环节
正离子互相交换
:好一点对铜、镍阳离子,为了确保溢水巨资属分子量高出0.5mg/L。
化学活化炭降解
:是终究的保障,清理农药残留少量可挥发物。
以后视觉效果
经治理 后,出水量水质检测提升自己《微电子工农业水废弃物物进行排放规格》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,回收利用率提升自己至60%,每月节省饮用水的成本约8070万。